线宽小于10nm

• 超越日本！我国第一台纳米压印光刻机交付：线宽小于10nm

  8月5日消息，近日，璞璘科技自主设计研发的首台PL-SR系列喷墨步进式纳米压印设备，顺利通过验收，并交付至国内特色工艺客户，初步完成储存芯片、硅基微显、硅光、先进封装等芯片研发验证。这标志着我国在高

  快讯 2025 年 8 月 7 日